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美國(guó)SVT超高真空解理機(jī)/解理鍍膜機(jī)
更新時(shí)間：2024-11-28
產(chǎn)品型號(hào)：WP-15
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
生產(chǎn)地址：
產(chǎn)品報(bào)價(jià)：
產(chǎn)品特點(diǎn)：美國(guó)SVT超高真空解理機(jī)/解理鍍膜機(jī)SVT公司的樣品解理部件可以將15mm（其他尺寸可選）的方形樣品解理成15個(gè)1mm×15mm的Bar條。所有解理出的bar條被收集到樣品托，堆疊在一起進(jìn)行下一步批量加工。*設(shè)計(jì)的解理工具避免了器件被破壞以及樣品互相黏在一起的可能性。此解理工具可*適用于UHV環(huán)境。解理機(jī)可以增加鈍化層沉積模塊。解理后堆疊在一起的Bar條直接進(jìn)入鈍化室，不用暴露大。
美國(guó)SVT超高真空解理機(jī)/解理鍍膜機(jī)介紹
SVT公司的樣品解理部件可以將15mm（其他尺寸可選）的方形樣品解理成15個(gè)1mm×15mm的Bar條。
所有解理出的bar條被收集到樣品托，堆疊在一起進(jìn)行下一步批量加工。
*設(shè)計(jì)的解理工具避免了器件被破壞以及樣品互相黏在一起的可能性。
此解理工具可*適用于UHV環(huán)境。
解理機(jī)可以增加鈍化層沉積模塊。
解理后堆疊在一起的Bar條直接進(jìn)入鈍化室，不用暴露大氣。
美國(guó)SVT超高真空解理機(jī)/解理鍍膜機(jī)規(guī)格
在線bar條解理
加工15mm×15mm 樣品（10mm-32mm可選）
加工成15mm×1mm 樣品（1mm-5mm寬度可選）
8''法蘭接口
可烘烤至180℃，（200℃可選）
樣品可以兩種方向加工
UHV環(huán)境兼容
Cassette裝取
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